停止羅茨真空機組的運轉(zhuǎn)，并進(jìn)行適當(dāng)拆卸。使用刷子或清潔劑清潔羅茨葉輪，注意不要讓水進(jìn)入葉輪內(nèi)部。
　　使用濕潤的布擦拭羅茨外殼，確保污垢和灰塵被清除。清理羅茨真空機組進(jìn)氣口和出氣口，確保其通暢無阻。檢查并清潔管道系統(tǒng)，確保無堵塞和漏氣現(xiàn)象。

　　檢查軸承是否有松動或損壞，并適時添加潤滑油。檢查密封件是否完好無損，并及時更換任何磨損或老化的密封件。

　　如果羅茨真空機組采用了磁力偶合裝置，注意檢查其定位是否準(zhǔn)確，并進(jìn)行校準(zhǔn)。按照羅茨真空泵的使用說明書，制定并執(zhí)行定期保養(yǎng)計劃。安裝過濾器可以有效防止顆粒和污染物進(jìn)入。羅茨真空機組應(yīng)放置在干燥、通風(fēng)和無塵的環(huán)境中。
　　此外，還可以考慮使用化學(xué)清洗物如苛性鈉溶液或有機溶劑進(jìn)行浸洗，然后用水多次沖洗，并將羅茨真空機組零部件用熱風(fēng)吹干或在烘箱中烘干。在進(jìn)行氣動清洗時，需要注意空氣壓力是否正常，并捕捉和處理清洗后的污水。